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2019 제26회 한국반도체학술대회 우....

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글쓴이 최고관리자 등록일 19-02-19 21:44
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    "Continuous and Ultrathin ALD Ru Film Deposition Using Discrete Feeding Method(DFM) and Electric Field Assisted ALD (EA-ALD)"
    위 논문이 지난 제25회 한국반도체학술대회 우수논문으로 선정되어, 2019년 02월 13일부터 15일까지 열린 제26회 한국반도체학술대회에서 우수논문상을 수상하였습니다.

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