Atomic Layer Deposition of SiO2 and SiOxNy Thin Films Using O2, H2O, N2 and NH3 Remote Plasma
Atomic-Layer-Deposited LiAlO Protective Layer for Li Metal Anode in Li-Ion Secondary Batteries
2018 년 02.05~07일간 열린 한국 반도체학술대회에서 포스터 세션에 출제한 2개 포스터에서우수한 연구 실적으로 베스트 포스터에 선정되었습니다.
이한진, 이학승 두 졸업생 모두 고생 많이하셨고 축하드립니다.
#박태주 #Tae Joo Park