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SEMICON KOREA 2013/LED KOREA 2013 성료

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글쓴이 김대현 등록일 13-02-14 13:50
조회 1,489
    첨단 반도체·LED 미래, 서울에 모였다

    세계 반도체·LED산업의 최신기술 및 제품들이 한데 모여 향후 발전방향을 가늠할 수 있는 전시회가 성황리에 열렸다.

    지난 1월30일부터 2월1일까지 코엑스에서 세미콘코리아(SEMICON Korea) 2013와 LED코리아(LED Korea) 2013이 동시에 개최됐다. 국제반도체장비재료협회(SEMI, 한국대표 조현대) 주최로 열린 이번 전시회는 20개국 500여 업체가 1,600부스로 참가, 역대 최대 규모를 자랑했다.

    반도체·LED 관련 장비·재료의 최신제품과 기술을 한눈에 볼 수 있어 국내를 넘어 세계적인 전시회로 발돋움하고 있는 전시회답게 전시장내는 연일 관계자들로 북적거렸다.

    이에 글로벌 반도체 장비재료산업을 이끄는 원익, 케이씨텍, PSK, 세메스, 도쿄 일렉트론, 아드반테스트, 에어프로덕츠코리아, 한국메티슨특수가스, 에드워드코리아, 빅트렉스 등을 비롯한 주요업체들은 자사의 제품을 홍보하고 신규 수요처를 발굴하는데 분주한 모습을 보였다. 특히 구매결정권을 지닌 바이어가 참관객 중 96%를 차지하는 전문 비즈니스 전시회답게 진지한 상담들이 줄을 이었다.

    또한 국내 전시참가업체의 해외 비즈니스 기회 창출을 지원하기 위한 OEM 서플라이어 서치 프로그램에는 글로벌 주요 소자업체인 도시바, 소니, UMC, 글로벌파운드리, 실트로닉이 참여해 국내 부품업체와 신규 비즈니스 창출 및 협력의 자리가 됐다.

    비즈니스 상담과 함께 반도체공정별 최신 기술과 이슈를 소개하는 세미나도 높은 수준의 기술과 마케팅이 소개돼 인기를 끌었다.

    특히 전 세계 반도체산업의 최대 화두로 손꼽히는 450mm 웨이퍼 전환에 대한 기술 로드맵이 국내 최초로 공개된 이그제큐티브 포럼(Executive Forum)에는 자리가 없어 서서듣는 장면이 연출되기도 했다.

    이 자리에서는 세계적인 반도체장비업체인 ASML, 어플라이드머티어리얼즈, KLA 텐코, 램리서치, 유진테크놀로지, IMEC에서 연사로 참여해 각 회사별 전략과 도전과제를 발표했다.
    이날 유럽 최대 나노 및 반도체 기술연구소인 IMEC의 CEO인 Luc Van den hove는 “450mm 웨이퍼 시대로 전환되면서 발생하는 높은 R&D 비용과 이에 비례하는 리스크에 대응하기 위해선 침 제조사와 수요기업 등 관련 업계의 통합과 개방적인 협력이 필요하다”고 강조했다.

    이밖에 시스템 LSI 포럼에서는 최근 빠른 속도로 진행되는 자동차와 IT의 융합에 주목, 스마트 드라이빙 시스템의 영상인식 및 물체감지와 관련된 알고리즘과 하드웨어를 비롯한 시스템온칩(SoC) 플랫폼 아키텍처가 소개됐다.

    LED코리아 컨퍼런스에서는 ‘LED의 미래-융합 기술’을 주제로 한 폴 하이랜드(Paul Hyland) 엑시트론 CEO의 기조연설을 시작으로 LED 시장, 재료 및 표준, 공정기술, 혁신 기술에 대한 업계 전문가 및 학계의 발표가 이어졌다.
    원익그룹 3개 계열사 통합 부스 전경
    ■ 원익, 머트리얼즈·QnC·IPS 통합전시

    반도체 관련 소재·장비 분야에서 입지를 다져가고 있는 원익그룹의 3개 계열사인 원익머트리얼즈, 원익 QnC, 원익IPS는 통합부스를 마련해 다양한 솔루션을 선보였다.

    순수 국내 자본의 반도체 특수가스 전문메이커 원익머트리얼즈(대표 이건종)는 반도체용 고순도 암모니아(NH₃)를 비롯해 차세대 디스플레이 소재로 관심이 급증하고 있는 아산화질소(N₂O)와 일산화질소(NO, 플래시 메모리 반도체 열처리 공정에 사용), 디실란(Si₂H6, 반도체 확산 및 CVD 공정에 사용), 저메인(GeH₄) 등 일련의 제품군들을 중점 홍보했다.
    회사는 2011년말 코스닥시장 상장에 성공하며 자금을 확보해 특수가스 생산에 더욱 집중해 매출이 지속 늘고 있으며 향후 신성장 품목을 선점하며 또 한 번의 도약이 기대된다.

    석영유리 가공품 분야 국내 1위, 세계 시장 2위 기업인 원익QnC(Quartz & Ceramics)는 지르코니아(ZiO₂), 실리콘카바이드(SiC), 실리콘나이트라이드(Si₃N₄) 등의 소재로 만든 다양한 반도체용 부품류를 소개했다.

    회사는 지난 2010년 세라믹 부품 전문기업 세라코 합병 이후 세라믹 분야를 회사의 신규 성장동력으로 설정, 2012년에 종전 원익쿼츠에서 지금의 사명으로 변경하기도 했다. 이트리아(Y₂O₃), YAl₃O 등 내플라즈마성 첨단소재 및 질화규소(Si₃N₄), 탄화규소(SiC), 질화알루미늄(AlN), 질화붕소(BN) 등 비산화물 세라믹을 생산하고 있으며 부품 대형화에 힘쓰고 있다.

    반도체용 장비 메이커인 원익IPS(대표 이문용)는 반도체 소자를 가공할 때 쓰이는 핵심 장비인 ‘MAMA’를 이번 전시회에서 소개했다.

    이 장비는 반도체 필수공정인 PE-CVD분야에 쓰이는 것으로 진공 상태에서 가스의 화학적 반응을 이용해 산화막이나 금속막 등을 증착시켜주며 일반적인 열분해 방식외 플라즈마를 적용하는 것이 특징이다. 회사가 최초로 국산화에 성공한 후 수년간 핵심기술들을 축적해 만든 장비이기도 하다.

    회사는 최근 주 고객사인 삼성전자와 200억원대의 반도체 제조장비 납품계약을 체결하는 등 탄탄한 성장세를 이어가고 있다.

    20國·500社·1,600부스 참가…역대 최대 규모

    450mm웨이퍼 기술로드맵 첫 공개…내용 풍성

    ATMI의 SDS가스 가스실린더
    ■ ATMI, 반도체 생산시설 안전 책임진다

    반도체용특수 소재 및 재료 패키징 전문 업체인 ATMI는 이번 전시회에서 우수한 안정성과 성능을 자랑하는 가스 시스템 기술인 SDS 가스실린더와 최첨단 브라이트팩(BrightPak) 보틀 패키징 기술을 선보였다.

    반도체의 이온 주입공정에서 사용되는 SDS 가스 실린더시스템은 대기압 보다 낮은 압력으로 유독가스인 포스겐 등을 원반모양의 탄소 흡착제에 저장하고 전달한다. 최대 1,500그램을 저장할 수 있으며 누출의 염려가 전혀 없어 주요 반도체 메이커들이 널리 사용하고 있다. 종전에는 한국메티슨특수가스가 SDS 제품의 판매 및 유통을 담당했지만, 지난해 3월부터는 ATMI가 담당하고 있다.

    특수 플라스틱소재로 만든 브라이트팩 보틀(Bottle)은 포토 리소그래피 애플리케이션에서 사용되는 약품을 담는다.

    기존 유리병이 충격에 깨지는 단점을 보완한 것으로 작업자들이 더 안전하면서 다루기 쉽고 더욱 깨끗하게 사용하도록 돕는다.

    ATMI는 최근 경기도 장안에 최첨단 제조공장을 설립하고 SDS가스 실린더 시스템을 포함한 반도체 생산업체들을 위해 여러 가지 제품을 생산할 예정이다. 또한 수원의 나노소자특화팹센터(KANC)에 고생산성 개발센터를 구축해 혁신적인 재료를 개발하고 있다.

    로타렉스는 특수가스 밸브 및 레귤레이터 제품군을 선보였다.
    ■ 로타렉스루스테크, 특수가스 장비 ‘라인업’

    특수가스 장비 전문기업 로타렉스루스테크(대표 진경진)는 전시회에 특수가스 전용 밸브제품 라인업인 ‘S·T·F-라인(line)’을 소개해 많은 관심을 받았다.

    회사의 제품군은 모노실란(Sih₄) 등 실란(silane)계 가스용 밸브 및 레귤레이터 라인업인 ‘S-라인’, 불소(F₂)용인 ‘F-라인’, 삼불화질소(NF₃)용의 ‘T-라인’으로 구성돼 있다.

    기존의 생산되던 밸브 및 레귤레이터 등 관련 장비와 신규 제품을 목적 가스 기준으로 구분해 카테고리화함으로써 수요처의 제품선택과 비교에 편의성을 높이는 동시에 각 라인별 제품의 유기적 연결성을 강조하는 효과를 거뒀다는 평이다.

    이밖에도 각종 피팅, 커넥터 등의 다양한 제품을 전시해 전시회를 찾은 많은 바이어들의 호평을 받았다.

    새로운 제품라인업을 바탕으로 올해 반도체 장비시장의 회복에 발맞춰 성장하는 회사의 행보가 기대된다.
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