LG이노텍이 세계 처음 6인치 대구경 웨이퍼 기반 자외선(UV) 발광다이오드(LED) 양산에 성공했다. 통상 UV LED는 웨이퍼 직경이 커질수록 수율이 떨어져 2인치 웨이퍼에서 생산되고 있다. 대구경화로 생산성을 대폭 높여 특수 시장인 UV LED 분야를 선점할 수 있을 것으로 기대된다.
<LG이노텍의 UV LED 6인치 에피웨이퍼와 패키지> LG이노텍(대표 이웅범)은 최근 6인치 대면적 웨이퍼 기반 UV LED 양산에 돌입했다고 2일 밝혔다. 2인치 웨이퍼를 사용할 때보다 생산성을 약 28% 높였다고 설명했다.
UV는 가시광선보다 파장이 짧은 약 100~400나노미터(㎚) 전자기파다. 파장 대역에 따라 살균·정화·경화 작용을 한다. 의료, 표면 코팅, 인쇄 등 특수한 광원을 필요로 하는 분야에 쓰인다. 살균 작용이 있어 폐수 처리 등 환경 산업에도 응용될 것으로 기대된다. 각 용도별로 유효 파장만 방출하도록 설계할 수 있어서 활용도가 높다.
이같은 장점에도 불구하고 UV LED는 자외선을 구현하는 발광층을 균일하게 도포하기 어려워 대면적 웨이퍼 양산 수율이 떨어졌다. 일반적으로 LED 칩은 수율이 80% 이상 나오면 양산한다.
LG이노텍은 수직형 LED 칩 기술로 광출력도 극대화 했다. 수평형 LED는 웨이퍼 기판 위에 증착하는 발광층 소재인 갈륨나이트라이드(GaN) 층이 두꺼워 UV 방출을 방해한다. 수직형 LED 칩 설계는 GaN층 두께를 대폭 줄일 수 있다. 포인원(4 in 1) 패키지를 예로 들면 385㎚ UV LED 4개를 사용해 최대 광출력 2600밀리와트(mW)를 구현한다. 기존 제품에 비해 패키지 숫자가 4분의 1로 줄어든다.
회사 관계자는 “일반 산업용 365·385·395·405㎚, 살균·의료용 280㎚ 등 다양한 대역별 UV LED를 선보일 것”이라며 “LCD 디스플레이용 백라이트유닛(BLU), 조명용 LED에 이어 특수 분야인 UV LED에도 대면적 웨이퍼를 적용해 가격 경쟁력을 확보하게 됐다”고 말했다.
LG이노텍은 UV LED 시장이 연평균 43% 성장해 2017년까지 약 2800억원 규모로 커질 것으로 기대했다.